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納品先から「ウェハー単位で履歴を出してほしい」と言われたとき、最初に決めるのは対応規格の名前ではありません。その履歴を誰が持つのか、です。SEMI E90の案内ページは、基板の情報を管理するのは工場システムで、装置はそのためのサービス...
2026年10月13日
