ウェハーの履歴は誰が持つのか｜SEMI E90とE142で分けるトレーサビリティ要求
納品先から「ウェハー単位で履歴を出してほしい」と言われたとき、最初に決めるのは対応規格の名前ではありません。その履歴を誰が持つのか、です。SEMI E90の案内ページは、基板の情報を管理するのは工場システムで、装置はそのためのサービス...
2026年10月13日
SECS/GEMを実際に流してみた｜secsgem 0.3.0の装置役とホストで追う接続手順と詰まる地点
HSMSの接続が成立しても、装置が返事をするとは限りません。公開ライブラリsecsgem 0.3.0で装置役とホスト役を立て、接続から最初のイベント報告までのメッセージを実際に流しました。接続は「回線がつながる」「会話が始まる」「報告...
2026年10月9日
省力化投資補助金（一般型）採択一覧7,684行を数えた｜計画名に「レトロフィット」「後付け」は0件
「レトロフィット」0件。「後付け」0件。「MES」0件。省力化投資補助金（一般型）の採択決定事業者一覧、第1回から第6回までの7,684行を数えた結果です。数えたのは、「事業計画名」にその語が入っている行の件数。この0件を「既存設備を...
2026年10月5日
省力化投資補助金（一般型）第8回｜「装置を替えない自動化」は公募要領でどこまで対象か
「今の装置はそのままで、センサーと仕組みを足して自動化する。それなら省力化投資補助金が使える」。つまずくのは「装置はそのまま」の部分ではありません。「足す」作業のどこまでが補助に載るか、です。第8回（一般型）の公募要領を通読すると、補...
2026年9月17日
EDA（Interface A）はSOAP版とProtocol Buffers版｜発注仕様書に書く一行
装置のデータを細かく取りたくなったとき、SECS/GEMの回線に収集を積み増すのは筋が違う。PEER Groupのフチガミ（Albert Fuchigami）氏は講演資料で、SECS/GEMを「制御の回線」と呼び、データ収集で過負荷に...
2026年9月15日
SEMI E187、台湾で認証マーク公開｜パッチを当てられない既存装置はどう扱うか
SEMI E187の認証マークが公開された、と台湾のIT専門メディアiThomeが報じました。これで古い装置が使えなくなる、と受け取るのは早い。E187が対象にするのは、WindowsかLinuxを載せた製造装置の計算機で、PLCやS...
2026年9月11日
設備総合効率（OEE）は装置産業では別物になる｜JIPMが公式にそう書いている
JIPMは、自ら公開しているOEEの計算式に但し書きを一行添えています。装置産業では三つの要素の定義が異なる、と。指標を作った側が、自分の式には適用範囲があると書いた。半導体側の物差しはSEMI E10とE79という別々の有料規格に分...
2026年9月10日
SECS/GEM非対応の装置は三列に分けてMESに繋ぐ｜HSMS対応・SECS-Iのみ・通信なし
「SECS/GEM非対応の装置」は、一括りにできる状態ではありません。ラインを見渡すと、Ethernetで繋がるHSMS対応の装置、シリアル通信しか持たないSECS-Iのみの装置、通信の口そのものがない装置が混在している。装置を替えず...
2026年9月2日